




電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來源于:1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過程中引入的微量金屬雜質(zhì);2) 氣體運(yùn)輸和儲(chǔ)存過程中機(jī)械帶入的金屬雜質(zhì);3) 使用過程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過分離進(jìn)行排除,才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而,特種氣體,目前一般的過濾器的孔徑1小為0.2 μm,無法完全消除金屬雜質(zhì)。因此,建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測方法,對(duì)高純氣體的生產(chǎn)、儲(chǔ)存和運(yùn)輸?shù)染哂兄笇?dǎo)意義。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,福州氣體,特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并且從根本上制約著電路和器件的精1確性和準(zhǔn)確性。
半導(dǎo)體照明是正處于方興未艾的產(chǎn)業(yè),隨著化合物半導(dǎo)體市場的擴(kuò)展,特種氣體的需求呈現(xiàn)更大的增長態(tài)勢,外延生長需要大量的超純?cè)春瓦^程氣體。應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)中的特種氣體因?yàn)槠浞N類繁多品質(zhì)要求嚴(yán)格,生產(chǎn)、充裝、運(yùn)送、儲(chǔ)存都有技術(shù)及安全的要求,再加上經(jīng)濟(jì)規(guī)模等因素,氣體哪家好,需要多方面的積累才能實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn),因此目前國內(nèi)呈現(xiàn)現(xiàn)市場大、供應(yīng)能力小的局面。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域。特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精1確性和準(zhǔn)確性。半導(dǎo)體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達(dá)百余種。

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